一种具有隔振框架的解耦硅微陀螺-维普期刊 中文期刊服务平台

来自 : qikan.cqvip.com/Qikan/Article/ 发布时间：2021-03-24

提出了一种利用隔振框架解耦的硅微陀螺，其驱动模态和检测模态不仅有各自独立的支撑结构，还有各自独立的惯性质量块，隔振框架隔离了驱动结构和检测结构，减小了模态之间的交叉耦合；利用TMAH湿法腐蚀结合深反应离子刻蚀工艺，在n型〈100〉低阻硅片上制作出了微陀螺样片，并为其研制了配套的测控电路；测试结果表明，驱动模态频率为2．981kHz，品质因子为800，检测模态频率为2．813kHz，品质因子为34，刻度因子为38mV／（ ／s），线性度优于0．8％，微陀螺在0．5h内的零偏稳定度为0．28 ／s． A decoupled silicon micromachined gyroscope with vibration isolation frame is introduced. This structure employs independent suspension beams and inertial masses for the drive and sense modes. The drive and sense structures are separated by the vi- bration isolation frame,so the cross-coupling between the modes is reduced. The gyroscope is fabricated on the n-type （100） wafer using TMAH wet-etching and DRIE,and its read-out circuit is designed. Test results show that the frequencies of the drive and sense modes are 2. 981 and 2. 813kHz,and the quality factors of the drive and sense modes are 800 and 34. The scale factor is measured as 38mV/（ /s） with a nonlinearity of 0.8%. The short-term bias stability of this gyroscope in half an hour is 0.28 /s.
12th IEEE International Conference on MEMS, Florida, 1999:618 被引量:1 7Geiger W, Butt W, GaiSer A. Decoupled microgyros and the design principle ...电子期刊,中文期刊,journal,全文数据库,学术论文,数字图书馆,科学研究,情报分析,科研管理,决策咨询,教师学生,引证追踪,科学指标维普中文期刊服务平台，是重庆维普资讯有限公司标准化产品之一，本平台以《中文科技期刊数据库》为数据基础，通过对国内出版发行的15000余种科技期刊、7000万篇期刊全文进行内容组织和引文分析，为高校图书馆、情报所、科研机构及企业用户提供一站式文献服务。一种具有隔振框架的解耦硅微陀螺